集成电路设备用全氟醚橡胶密封件的国产化

简介

介绍了全氟醚橡胶(FFKM)的化学结构和性能特点,以及国内外的生产概况。叙述了半导体行业中使用的全氟醚橡胶密封件的特性、技术要求,开发因素以及配方要求。分析了现有的市场产品以及全氟醚橡胶密封件的全面国产化的前景,总结了目前全面国产化存在的问题以及需要突破的技术难点。认为有国家支持,上下游产业的联合攻关,从密封件的原料配方制作、生产加工成形,多领域、多工况、多场景条件下的应用,到FFKM的自主生产,可逐步实行密封件各生产技术环节的实围,达到完全替代国外产品。