改进的Hindle方法检测凸非球面的研究
凸非球面,尤其是大口径快焦比凸非球面的光学检验一直是非球面加工中的难点。针对凸非球面光学元件加工检验困难的问题,研究了一种改进的Hindle方法,解决了经典的Hindle方法需要大口径辅助球面镜和存在中心遮挡等不足。利用该方法对一块@88mnq,焦比F/1.9的玻璃材料凸双曲面镜进行检验加工实验.对系统进行了分析优化,简化了检验光路的结构,克服了此种改进的Hindle方法检验时被检镜需要镀膜的缺陷,简化了加工工艺流程,极大地拓宽了该方法的适用范围。加工完成后经移相式数字干涉仪检测,镜面均方根(RMS)误差为0.020λ,验证了优化后方法的可行性。检验结果和对系统的进一步分析表明:经过优化后,改进的Hindle方法能够对多种凸非球面进行检验,是一种有效的高精度检验方法。
大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验
为了实现某大口径碳化硅材料凸非球面反射镜检验,研究了无像差点法以及补偿检验法方案。经过比较优选,确定选用补偿检验方案并专门设计了高精度大口径非球面补偿器,设计精度为PV:0.008 2λ,RMS:0.0029λ(λ=632.8nm)。采用会聚光束,使用大口径数字干涉仪进行凸非球面正面检测,最终检测结果为0.022λ(RMS)。所述补偿器的设计方法和要求具有普遍性,设计结果也可用于同类型大口径凸非球面检验用补偿器的设计。采用该方法提高了凸非球面检测精度,并且在凸非球面镜的材料选择、结构设计、支撑方式等方面提供了更多的优化空间,为新型光学材料在凸非球面反射镜的应用奠定了基础。
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