为了实现某大口径碳化硅材料凸非球面反射镜检验，研究了无像差点法以及补偿检验法方案。经过比较优选，确定选用补偿检验方案并专门设计了高精度大口径非球面补偿器，设计精度为PV：0．008 2λ，RMS：0．0029λ（λ=632．8nm）。采用会聚光束，使用大口径数字干涉仪进行凸非球面正面检测，最终检测结果为0．022λ（RMS）。所述补偿器的设计方法和要求具有普遍性，设计结果也可用于同类型大口径凸非球面检验用补偿器的设计。采用该方法提高了凸非球面检测精度，并且在凸非球面镜的材料选择、结构设计、支撑方式等方面提供了更多的优化空间，为新型光学材料在凸非球面反射镜的应用奠定了基础。

用于Ф1．2mF／1．5主镜面形检验的补偿器，需要补偿0．087mm的非球面度，并满足0．033λ（RMS）面形检测要求。介绍了该补偿器的设计、误差分析、加工、标校及最终主镜检测的情况。主镜检测前用计算全息（CGH）对补偿器标校显示：补偿器产生的抛物面面形误差为0．012λ（RMS），二次曲面常数K的误差为0．0064％；主镜最终补偿检测结果为：面形误差0．027λ（RMS），二次曲面常数K的误差为0．0306％，与分析的结果相符。结果表明，补偿器设计合理，建立的误差分析原则和方法可行，加工质量可靠，为更大口径高陡度非球面主镜的补偿检验奠定了坚实基础。