金透射光栅广泛用于真空紫外、X射线、物质波的衍射和光谱测量.分别介绍了美国麻省理工学院空间微结构实验室和中国科学技术大学国家同步辐射实验室的透射光栅制作技术及其新进展.麻省理工学院空间微结构实验室为完成AXAF巨型空间天文台上的高能透射光栅谱仪经历了近20年的发展,其光栅制作工艺日趋成熟,代表了当前世界最高水平.中国科学技术大学国家同步辐射实验室为了满足惯性约束核聚变实验研究的需要,在国内较早地开展了透射光栅的研制工作,在提高光栅质量的同时不断提高线密度.

通过研究光刻胶厚度与烘培过程中光敏混合物(PAC)浓度分布的关系,对光刻胶前烘模型进行了修正,得出了光刻胶内PAC相对浓度与光刻胶厚度、烘培温度和烘培时间之间的函数关系.设计了求解光刻胶激活能E0和Arrhenius系数Ar的实验方案,并以AZ50XT正型紫外光刻胶为例开展了实验研究.结果表明,对不同厚度的光刻胶,可以通过调整烘培温度或烘培时间达到所需要的PAC浓度.