提出了一种干涉相位差与检偏器方位角成线性关系的新型微分干涉显微镜,利用相移干涉技术,可定量测量样品的表面形貌及粗糙度参数,系统的垂直和横向分辨率分别为1nm和0.5μm。

用透射式微分干涉法测量光纤内部折射率分布，其原理是利用旋转检偏器对测量光束进行调制，从相位分布和光程分布中计算出折射率分布。其中，从光程分布中解算出折射率分布的算法是关键。讨论了该算法的数学模型，推导了测量公式，并对算法的稳定性和误差进行了分析。利用自行研制的系统对渐变折射率分布光纤进行实测，与在NR-9200光纤测量仪上的结果进行了比较，对主要误差源进行了分析和计算机模拟。实测和模拟计算结果表明，该算法原理正确，系统稳定，测量精度优于10^-3，完全可以用来测量光纤折射率分布。

提出一种由两组偏光棱镜组成的透射式微分干涉系统，用来测量光纤的折射率分布。系统利用旋转检偏器对测量光束进行调制，从相位分布和光程分布中计算出折射率分布。介绍了测量原理、测量公式、系统组成及典型应用。用该系统对光纤折射率进行实际测量，给出渐变折射率光纤的二维分布，及折射率沿轴向的分布图，同时还在NR-9200光纤测试仪上进行了测试。结果表明，系统原理正确，结构简捷，具有足够分辨率和测量精度，抗干扰能力强，不破坏光纤，还可测量包层和芯层的直径，发现光纤加工过程中的缺陷，特别适合加工、焊接等工艺过程中的检测。