高精度滚转角干涉仪
提出了一种基于横向塞曼激光器的新的滚转角测量系统.该系统在已有技术的基础上,将测量放大倍率又扩展了4倍,从而大大提高了滚转角的测量精度.系统以横向塞曼激光器出射的正交线偏振光作为测量光,首先经1/4波片将线偏振光变成微椭圆偏振光(即进行微椭偏化),然后测量光通过作为传感器的1/2波片,由直角反射镜将光路折回,使测量光再次通过作为传感器的1/2波片.由于直角反射镜提供了合理的坐标变换,所以使得测量光在两次通过1/2波片时,偏振方向的改变被叠加了,相当于被测量的滚转角放大了4倍.最后测量光经检偏器合成,再用光电探测器接收.由测量光的相位变化可以求出工作台的滚转角变化.在整周期内,测量光的相位变化与滚转角成非线性关系,但在特定的角度上会出现线性很好的滚转角测量灵敏度倍增区.采用这种方法,测量放大倍率可以达到200...
测量光纤折射率分布还原算法的研究
用透射式微分干涉法测量光纤内部折射率分布,其原理是利用旋转检偏器对测量光束进行调制,从相位分布和光程分布中计算出折射率分布。其中,从光程分布中解算出折射率分布的算法是关键。讨论了该算法的数学模型,推导了测量公式,并对算法的稳定性和误差进行了分析。利用自行研制的系统对渐变折射率分布光纤进行实测,与在NR-9200光纤测量仪上的结果进行了比较,对主要误差源进行了分析和计算机模拟。实测和模拟计算结果表明,该算法原理正确,系统稳定,测量精度优于10^-3,完全可以用来测量光纤折射率分布。
透射式微分干涉显微镜测量光纤折射率分布
提出一种由两组偏光棱镜组成的透射式微分干涉系统,用来测量光纤的折射率分布。系统利用旋转检偏器对测量光束进行调制,从相位分布和光程分布中计算出折射率分布。介绍了测量原理、测量公式、系统组成及典型应用。用该系统对光纤折射率进行实际测量,给出渐变折射率光纤的二维分布,及折射率沿轴向的分布图,同时还在NR-9200光纤测试仪上进行了测试。结果表明,系统原理正确,结构简捷,具有足够分辨率和测量精度,抗干扰能力强,不破坏光纤,还可测量包层和芯层的直径,发现光纤加工过程中的缺陷,特别适合加工、焊接等工艺过程中的检测。
用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法
提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法.利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性,进行边缘定位.相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的.这一系统完全符合共光路原则,有很强的抗干扰能力.利用该系统对标准线宽样板进行了测量,测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果,以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好;还对同一刻线进行了5次重复性测量,其极限偏差为20 nm.
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