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大位移压电陶瓷驱动器的设计与试验

作者: 崔艳梅 刘向锋 高志 来源:功能材料与器件学报 日期: 2024-05-07 人气:19
大位移压电陶瓷驱动器的设计与试验
针对大位移压电陶瓷驱动器,研究了压电陶瓷双晶片的驱动效能。基于压电陶瓷材料的逆压电效应,应用压电陶瓷双晶片在机械自由、电学短路状态下,一片加正向电压缩短另一片加反向电压伸长共同作用产生弯曲变形,通过组合设计将压电陶瓷双晶片的弯曲变形位移叠加起来,实现了压电陶瓷驱动器的大位移输出。在相同电压的条件下,此压电陶瓷驱动器的输出位移量比叠层驱动器有较大的增加,达200μm,结构尺寸也大大减小。该驱动器不需要位移放大机构,可直接应用于有大位移要求的机构驱动。

一种压电驱动微操作器及其释放位置精度分析

作者: 吴建华 褚家如 来源:光学精密工程 日期: 2023-08-14 人气:6
一种压电驱动微操作器及其释放位置精度分析
报道了一种利用压电陶瓷双晶片驱动的适用于尺寸在20~200μm之间微器件装配操作的微操作器.夹持臂尖端直径约15 μm,在80 V的电压驱动下闭合约200μm的距离.通过理想操作模型分析了微器件释放的位置误差来源和提高微器件释放位置精度的方法,并进行了高分子小球的排列和释放实验.在相对湿度50%的环境下对直径约170μm的高分子小球的操纵中,实现了2μm的释放位置精度.实验表明本微操作器能高精度地完成微器件的拾取、移动和释放操作.
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