针对分步压印光刻工艺超高精度的对准要求,论述了一套由光栅、驱动器及激光干涉仪构成的闭环超高精度自对准定位系统.为了消除外界干扰引起的激光干涉仪误差对整个系统精度的影响,系统采用粗精两组光栅和相应两组光强传感器来实现工作台三维位置度的检测. 驱动环节采用宏微两级,相对于粗精两组光栅检测进行驱动,实现了分步式压印光刻的多点定位找准和多层压印的对准要求.为了提高在驱动过程中的定位精度和抗干扰能力,系统采用了精确模型匹配(EMM)算法,最终实现了在压印光刻工艺中,步进精度小于10 nm、多层压印重复对准精度小于20 nm的超高定位精度要求,使系统的整体定位找准精度控制在8 nm以内.

具有立方莱夫斯相结构的Ｒｆｅ２雁化合物ＴｂｘＤｙ（１－ｘ）Ｆｅ２，在室温环境下具有极大的磁致伸缩量，应用这种材料研制的微位移驱动器，具有大位移高分辨率及大输出力等特点。从驱动器使用角度出发，对这种材料的原理及特性进行了阐述，同时分析了超微致伸缩驱动器的结构及特性。设计并研制了超磁致伸缩微位移驱动器，通过实验分析，驱动器的位移分辨率达０．５ｎｍ，行程范围４０μｍ，在精密及超精密加工领域有着广阔的应用

介电型电活性聚合物（EAP）驱动器在工作过程中,边界条件及驱动电压的改变经常导致EAP薄膜发生起皱现象以及介电击穿,致使驱动器失去工作能力。为了保障驱动器的正常工作,避免失效行为的发生,对EAP驱动器的失效行为进行了研究。针对锥形驱动器,计算出不同驱动电压下驱动器EAP薄膜的变形情况以及其中的应力、应变和电场强度的分布情况。利用薄膜起皱判别方法,对驱动器的起皱行为进行预测,同时分析了预拉伸倍数对驱动器失效的影响。试验结果表明,EAP驱动器的理论临界起皱电压与理论分析比较吻合,预拉伸可以提高薄膜的机电稳定性能。研究结果可用于预测介电型EAP驱动器发生失效的临界电压,有利于保障驱动器的安全工作。

基于超磁致伸缩材料的特性设计制作了一种用于迈克尔逊干涉仪定镜自适应校正的微位移驱动嚣，分析了驱动嚣的工作磁场，给出了位移输出的特性曲线。将其应用于激光千涉平台，可对定镜进行两个自由度的倾斜调整，并通过激光干涉信号进行反馈控制。对其发展起了极大的推动作用。

随着微加工技术的发展和日益成熟，微型化光谱仪的研究得以快速发展。和传统的微型光谱仪相比，基于调制原理的光谱仪具有高光通量、高分辨率的性能优势，可广泛应用于生物、化学、医学等许多领域中对微弱辐射信号的探测。介绍了几种类型的调制光谱仪的结构特点和关键技术，分析了设计与制作微型调制光谱仪过程中存在的一些关键问题与难点，并总结了该领域的研究进展和发展趋势。

用BP神经网络对单支气动人工肌肉系统进行了阶跃信号及正弦波位置跟踪的研究,实验证明,运用BP神经网络PID控制器,与PID及神经网络控制器相比,有较好的跟踪效果.

采用一种新型的气动驱动器--气动人工肌肉来并联驱动一个新型的多自由度平台,并以高速电磁开关阀来控制气动人工肌肉.从而实现了一种新型、经济实用的多自由度平台.文章对系统中的气路设计、计算机控制系统和测量方式进行了详细的描述.

一种适用于微流体系统的无阀驱动器利用印刷电路板（PCB）制作腔体以及扩散口和喷口,利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为振动膜,并利用压电双晶片作为驱动部件。该驱动器的制作工艺简单,使用寿命长,具有良好的液体驱动性能。对于使用15mm长的压电双晶片制作的驱动器,在100V、60Hz、占空比为1的方波驱动下,最大流速可达l50μL/min。