针对分步压印光刻工艺超高精度的对准要求,论述了一套由光栅、驱动器及激光干涉仪构成的闭环超高精度自对准定位系统.为了消除外界干扰引起的激光干涉仪误差对整个系统精度的影响,系统采用粗精两组光栅和相应两组光强传感器来实现工作台三维位置度的检测. 驱动环节采用宏微两级,相对于粗精两组光栅检测进行驱动,实现了分步式压印光刻的多点定位找准和多层压印的对准要求.为了提高在驱动过程中的定位精度和抗干扰能力,系统采用了精确模型匹配(EMM)算法,最终实现了在压印光刻工艺中,步进精度小于10 nm、多层压印重复对准精度小于20 nm的超高定位精度要求,使系统的整体定位找准精度控制在8 nm以内.

采用双级结构,以满足驱动器的多种功能要求.利用压电陶瓷的高响应速度特性,设计出基于动力学惯性粘-滑原理的变换机构,实现驱动的自锁与步进;利用液力放大器对驱动力、位移分辨力加以提高.对双级式驱动器进行了实验研究,结果表明,双级式驱动器具有2～3 nm的位移分辨力、不小于200 N的驱动力、良好的自锁性能与位置保持精度.

利用压电陶瓷的逆压电效应,基于步进运动原理和误差补偿技术设计了一种高精度定位的大行程精密直线驱动器,制作了样机,进行了静态特性和幅频特性测试以及运动性能试验,给出了驱动器的移动速度与工作电压、频率之间的试验关系曲线.结果表明:在计算机闭环控制下,驱动器能稳定地实现双向运动,在行程1 mm时,定位精度达士0.01 μm,有效驱动力达13.5 N.

由于目前微位移驱动器普遍存在输出力及输出范围小的缺点,所以提出将超磁致伸缩材料引入到微位移驱动器的设计当中。文中详细描述了基于超磁致伸缩材料的驱动器的设计原理及性能,同时设计了用水冷装置消除线圈发热带来的影响,从而使其达到具有纳米级的驱动精度。

设计了一款基于MarxBank脉冲发生原理的纳秒脉冲激光驱动器。该驱动器电路由两级电路组成，一级为触发脉冲产生电路，一级为纳秒脉冲生成电路。通过装机、调试，测得所得驱动器的最大峰值电流为12．5A，半高全宽为1．51ns，重复频率为100kHz，满足了大幅度纳秒脉冲半导体激光器驱动器的设计要求。

设计了一种能够在高温环境下工作的小功率无刷直流电动机驱动器。驱动器逻辑部分采用高性能的单片机，开关主电路中采用特殊结构，省去了功率器件的驱动芯片，整个驱动器只需一个外部电源。驱动器具有开环调速和恒功率运行等控制功能。实验结果表明该驱动器可在150℃高温环境下稳定运行。

ＡＹ０４３８是Ｍｉｃｒｏｃｈｉｐ公司生产的３２段ＣＭＯＳ ＬＣＤ驱动器，它结构简单，使用方便。可在单片机的控制下直接驱动ＬＣＤ显示模块。文中介绍了ＡＹ０４３８的引脚功能和电气参数，给出了ＡＹ０４３８在ＰＩＣ１６Ｃ７１单片机的控制下驱动ＬＣＤ显示模块的实际应用电路及程序。

选用一定规格的形状记忆合金弹簧和普通弹簧来设计一台形状记忆合金热机驱动器,并以形状记忆合金弹簧作为驱动力.该形状记忆合金热机驱动器由热循环系统、动滑轮机构、齿形皮带传动机构三部分组成,具有机械结构简单、输出位移大等优点.

用BP神经网络对单支气动人工肌肉系统进行了阶跃信号及正弦波位置跟踪的研究,实验证明,运用BP神经网络PID控制器,与PID及神经网络控制器相比,有较好的跟踪效果.

采用一种新型的气动驱动器--气动人工肌肉来并联驱动一个新型的多自由度平台,并以高速电磁开关阀来控制气动人工肌肉.从而实现了一种新型、经济实用的多自由度平台.文章对系统中的气路设计、计算机控制系统和测量方式进行了详细的描述.