文中提出了一种基于虚拟仪器的塑料薄膜厚度在线测量系统,主要介绍了测量系统的组成结构,基于电容传感器的塑料薄膜厚度测量系统的在线测量原理以及以数据采集卡PCI-M6220作为执行机构的运动控制系统的实现方案,并设计了接口板控制电路和虚拟仪器程序对系统的控制过程,并对系统准确性、传输误差和线性校正做了实验,实验证明该设计提高了原有系统的稳定性、可靠性和运行速度。

研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统.该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度.跟台阶仪、光学轮廓仪相比,该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点.实验表明.该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度.