基于FluidSIM的光刻机气动回路仿真分析

简介

用于加工芯片的光刻机,气动回路设计依据消障过后的X-D状态图,绘制了系统逻辑原理图。利用FluidSIM软件,按照动作顺序,搭建气动控制回路进行运行仿真。各气缸的仿真状态图显示,所有动作符合设计要求,达到了预期效果。