精密气动液压伺服系统用于傅里叶变换光谱仪测量
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简介
讨论了傅里叶变换光谱仪动镜稳定平移的重要性,研制了以高压无氧氮气为动力源的精密气动液压系统用于推进在研傅里叶变换光谱仪“猫眼”动镜系统,并在此基础之上测量了ZYGO干涉仪光源光谱图。相关论文
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