基于区域法的表面形貌滤波

简介

表面形貌的区域法评定与其二维轮廓评定相比,更能体现表面的真实情况。表面形貌的区域法滤波是对其进行区域法评定的基础。文中对最小二乘平面滤波、多项式曲面拟合滤波和三维高斯滤波3种典型的区域法表面滤波技术进行了算法实现,实测结果表明了所开发算法的准确性。