影像测量仪背光源强度影响及误差补偿技术研究

简介

影像测量仪在工业测量等领域中，尤其是精密平面类零件的高精度测量方面具有广泛的应用。目前，影像测量仪进行二维尺寸测量时主要采用LED背光源作为照明条件，光源强度的变化会引起图像边缘轮廓内缩或外扩，从而影响测量精度。文章以通用的影像测量仪为实验平台，在实验室条件下分别研究背光源强度对边缘位置的影响以及不同直径的标准圆测量精度的影响。实验结果表明，随光源强度的增强边缘位置发生内缩，测量误差逐渐增大，最大可达13μm。最后，提出一种误差补偿方法对测量误差进行补偿，实验证明该方法可以有效提高测量精度，使测量误差减小到0~3μm。