现有的基于高精度测微仪的预对准方法需交换晶圆才能够完成操作.为提高其效率,介绍了一种无需晶圆交换的预对准方法.该方法采用缺口定向先于圆心定位的预对准顺序,通过一维旋转和二维直线平移完成晶圆的定位.另外,还给出了该方法重复定位晶圆圆心和缺口的误差表达式.针对线性最小二乘圆拟合算法进行晶圆缺口拟合时计算精度不易保证的问题,提出了一种非线性晶圆缺口拟合算法,即利用Levenberg-Marquardt算法直接求解缺口边缘拟合问题.精度测试结果表明,该算法的计算误差近似为现有缺口拟合算法误差的1/2.

变量齿轮的变量范围是一项重要性能指标。本文阐述了最大流量和最小流量及变量范围的设定方法，并分析了影响变量范围的一些重要因素。

本文叙述了ＢＣＢ－Ｂ型变量齿轮泵的工作原理、结构及其应用。

本文对ＢＣＢ－Ｂ型变量齿轮泵设计中几个关键问题的综述。这对于油泵的设计、使用和工作性能都十分重要。

ＢＣＢ—Ｂ型变量齿轮泵测试方法河北机电学院（石家庄：０５００５４）丁万荣河北轻化工学院张世忠为保证齿轮泵正常有效地工作，必须具备良好的性能和质量，为此国家有关部门对齿轮泵的技术性能规定了相应标准和检测方法。变量齿轮泵在我国还是首创，没有准规可循。为了...