设计了一种为高端三坐标测量机提供低压力露点、高品质压缩空气和具备恒温供气要求的压缩空气处理系统。该系统主要由吸附式干燥机、精密过滤器、冷冻式干燥机和导流加热装置等几部分组成。经试验，该系统达到了三坐标测量机的使用要求，投入使用后，系统运行稳定，达到理想效果。