提出了一种带有反馈系统的半导体激光正弦相位调制干涉仪.该干涉仪可以实现对微小振动的高精度实时测量.通过一个简单的信号处理系统对干涉信号进行分析,获得实际振动的振幅和频率.由于引入反馈系统,减低了测量误差,排除了环境噪声的影响.给出了具体的理论分析和实验结果.

在光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上，提出了一种扩大其测量范围的方法，使得在保持纳米精度的前提下，测量范围由半个波长扩大为125.56 μm，并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证。