提出了一种带有反馈系统的半导体激光正弦相位调制干涉仪.该干涉仪可以实现对微小振动的高精度实时测量.通过一个简单的信号处理系统对干涉信号进行分析,获得实际振动的振幅和频率.由于引入反馈系统,减低了测量误差,排除了环境噪声的影响.给出了具体的理论分析和实验结果.

光纤M-Z干涉仪是由两个3dB耦合器构成,将此干涉仪放到激光腔中通过调节其干涉状态就可以相应地调制激光腔的损耗,发挥Q开关的作用.从理论上模拟了M-Z干涉仪输出光强随相位差的改变而发生平移,并在实验中验证了这一特性,证明理论模拟的特性与实验基本符合.

提出一种结构简单、使用方便的用于微电子机械部件运动状态测量的光纤斐索干涉装置。考虑到光纤出射光束的发散，在有效反射率中引入了损耗因子，讨论了它的基本工作原理。为了提高测量精度和最小可探测距离，光纤控头固定在一个ＰＺＴ上作可控调制。用屯喇叭膜片在多种驱动条件下的运动状态２，进行了数据处理和讨论。