微小位移量的精确测量是测控工程技术中一个重要的课题。介绍一种针对具体工程的、基于电涡流位移传感器和虚拟仪器技术的微小位移测量方法。采用高精度电涡流位移传感器和虚拟仪器技术、合理设计测量机械机构和数据采集与处理系统，使计算机可以精确测量微小位移量，为准确分析数据结果提供了有利的先决条件，使测量系统精度大大提高。

提出一种结构简单、使用方便的用于微电子机械部件运动状态测量的光纤斐索干涉装置。考虑到光纤出射光束的发散，在有效反射率中引入了损耗因子，讨论了它的基本工作原理。为了提高测量精度和最小可探测距离，光纤控头固定在一个ＰＺＴ上作可控调制。用屯喇叭膜片在多种驱动条件下的运动状态２，进行了数据处理和讨论。