针对传统Fe2O3气敏元件工作温度高、响应时间长等缺点，采用分析纯FeCl36H2O和乙醇为主要原料，以Al2O3陶瓷片为基底，利用溶胶凝胶法制备了Fe2O3纳米膜及气敏元件。利用XRD（X射线衍射）、AFM（原子力显微镜）对纳米膜的结构及形貌进行了表征，结合Fe2O3纳米膜的形成机理，主要讨论了镀膜次数对薄膜结构、性能的影响；研究了薄膜元件的阻温特性及室温气敏性能。结果表明：镀膜20次后，Fe2O3颗粒粒径约为20-30nm，镀膜30次后，纳米膜平整、均匀、无裂纹；室温下薄膜元件便对H2、CH4有一定的气敏效应，响应时间小于3s，灵敏度随气体浓度变化呈线性关系。