介绍了液体粘性传动( HVD)装置的基本工作原理和结构;分析了造成HVD装置开环转速平稳性不良的主要原因是作为HVD系统转速调节阀的常规比例溢流阀在小流量低压工况下压力调节线性度和压力稳定性不够;研究开发的一种新型HVD转速调节阀,具有优良的压力调节线性度和压力稳定性,能够显著提高HVD装置在开环工况下输出转速的平稳性。

为了提高加速度计的线性度,实现对加速度的精确测量,采用MCU(单片机)系统.在建立加速度计线性误差数学模型的基础上,给出了利用MCU软件实现线性补偿的方法,并在硅桥式半导体加速度计上进行应用,结果表明加速度计的线性度提高了一个数量级,因此采用MCU实现加速度计的线性补偿是非常有效的.

为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则，通过静平衡方程得到闭环系统输出公式，由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响，根据性能指标提出参数的优化准则和设计公式。

薄膜结构微压阻式传感器在提高灵敏度过程中容易引入非线性误差，导致传感器输出性能变差。通过分析微压阻式传感器核心敏感元件结构，利用Ansys软件建立硅杯薄膜有限元分析模型，并通过弹性力学方法对有限元模拟的精确度进行验证。针对薄膜结构传感器非线性误差随灵敏度提升而急剧增加的问题，为了提高传感器的线性性能，通过在敏感薄膜下方集成双岛结构，并分析优化岛长和岛宽等结构参数，得到了一种输出线性度优良的双岛结构传感器模型。模型输出结果表明：双岛结构挠度线性度为0．8％，相比薄膜结构8．6％有了较大的改善，电压输出线性度为0．9％，能满足使用要求，且实现了高灵敏度下线性输出优良的传感器模型设计。