MEMS技术是一门新兴的技术,近年来,越来越受到世界各国的重视.以下主要阐述了MEMS的研制背景、加工工艺、现状和发展趋势,并对MEMS技术面临的问题进行了简要的讨论和分析.

无网格局部边界元法是一种真正的无网格方法.本文推导了弹性力学问题的局部边界积分方程,并且基于MLS近似方法实现了无网格离散,得出无网格局部边界元法的二维弹性力学问题的格式,推导了修正的基本解,并利用编制的计算程序,应用于实际算例.

船舶减摇水舱试验台架是研究和设计减摇水舱的重要试验设备,能否准确的模拟船舶在海浪中的运动是设计试验台架的关键。设计了用于驱动船舶减摇水舱试验台架的电液力矩伺服控制系统,并对系统进行了仿真,仿真结果表明系统符合设计要求。

船舶减摇水舱试验台架是研究和设计减摇水舱的重要实验设备 ,准确模拟船舶在海浪中的运动是设计试验台架的关键。目前试验台架研究的仅是单纯横摇 ,如果考虑了横荡的基本轨圆运动 ,以及相应的横摇与水舱内液体加速度的耦合 ,则船的横摇运动更符合实际情况。本文对横荡运动进行了理论分析 ,并将PID控制方法应用于模拟横荡运动的电液位置伺服控制系统中 ,仿真结果表明系统具有良好的跟踪性能 。

设计了用于固定翼舰载机加油系统的基于自压力反馈的恒流量控制阀，分析了该阀的工作原理，建立了恒流量控制阀的动力学模型，分析其流量特性，并对阀芯振动情况及对流量的影响进行了分析，验证了恒流量控制阀阀芯的运动稳定性。结果表明，恒流量控制阀在给定输入范围内能够很好地保持输出流量恒定。

减摇水舱实验台架的作用是验证减摇水舱的特性，是典型的液压位置伺服系统。为了满足实验要求，需要能够跟踪动态输入信号，正弦和随机激励信号。为了补偿减摇水舱内流体晃荡所产生的干扰力矩，提高控制精度，针对系统建模时参数的不确定，提出了一种鲁棒性补偿的干扰观测器和速度前馈相结合的复合控制方法。该算法提高了系统控制精度，实现了对干扰的估计和补偿，拓展了系统的带宽。仿真结果证明了所提出算法的有效性。

船舶减摇水舱试验台架是研究和设计减摇水舱的重要试验设备，能否准确的模拟船舶在海浪中的运动是设计试验台架的关键，本文设计了用于驱动船舶减摇水舱试验台架的电液力矩伺服控制系统，在伺服系统中用摆动油缸代替液压马达，建立了摆动油缸的数学模型，仿真结果表明系统符合设计要求。

船舶减摇水舱试验台架是研究和设计减摇水舱的重要试验设备，能否准确的模拟船舶在海浪中的运动是设计试验台架的关键，本文设计了用于驱动船舶减摇水舱试验台架的电液力矩伺服系统，针对这一系统设计了最优控制器，仿真结果表明系统具有很好的跟踪性能，系统符合设计要求。

介绍了一种液压系统的故障诊断专家系统分析方法用系统故障因果图→逻辑表达→正逆判断法可获得较准确的故障分析。

为了对机、电、液一体化减摇鳍液压系统准确仿真，提出了基于AMESim与ADAMS联合仿真技术的建模与仿真方法，运用ADAMS软件建立机械系统多体动力学模型，采用AMESim软件对液压系统与控制系统建模，完成较准确的系统模型，并分析了减摇鳍液压系统的动态特性，将获得的数据与实测数据进行比较，证明联合仿真与传统仿真方式相比结果更准确。