针对目前数控设备无法实现高速及多参数同时测量的问题，以双纵模热稳频激光源为基础，自主研发了高速6D激光测量系统，不仅允许测速高（可达1．3m／s以上），而且解决了现有5D／6D激光干涉仪未能有效解决的高精度测量滚转角的问题，具有很好的推广应用价值。

现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求.为此研制了一种基于5MHz频差双反射膜激光器的高测速干涉仪.通过实验对干涉仪的测量速度进行了验证.实验证明,该种干涉仪可以对速度为1000mm/s的运动物体进行位移和速度测量 .

Zeeman双折射双频激光器能够输出3～40MHz频差的双频激光，可用作高测速双频激光干涉仪的光源。针对这种激光器的特点，以频差约7MHz的Zeeman双折射双频激光器为干涉仪的光源，建立了中频差双频激光干涉仪测量系统。经过与商用HP5528A双频激光干涉仪的比对测量实验得出，中频差双频激光干涉仪实验测量系统测量线性度小于0．002％，测量的标准不确定度小于0．1μm，证明了中频差双频激光干涉系统的可行性和针对这种光源采用的设计方案的正确性。

新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000 mm/s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求.为此,研制了一种基于5 MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达1580 mm/s.通过实验对测量速度和计数频率进行了检测,结果证明,这种干涉仪可以达到的最高测量速度为980 mm/s,外触发计数频率达11kHz.