对于厚度为１０－１００μｍ的薄膜，传统测厚方法是将薄膜从生产线上切下一条，然后送实验室用光学仪器测量，这种方法的缺点是测量时间长、速度慢。本文介绍一种以８０９８单片机为核心的β射线薄膜测厚仪，精度高、速度快，能满足膜生产线高精度在线实时测厚的要求。

介绍一种以８０３１单片为核心，采用电容传感器对薄膜厚度进行动态在线测量的高精度高分辨率仪器。仪器采用反馈运算方法，使用驱动电缆技术，克服了电容传感器输出的非线性，并提高了仪器整机的抗干扰能力。测量结果在单片机系统的控制下，实时进行数显，同时将被测过程量的变化情况通过ＴＶ板变成视频信号送入视频显示器，直观反映出测量结果的变化趋势。