研究了微加速度计的电容变化率为１０＾－７～１０＾－８旱的微弱输出信号的 是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上，进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术，以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术。这些全新的技术思路和措施可望达到１０＾－７～１０＾－８的电容变化率的目的。

介绍了一维光子晶体技术在薄膜设计的应用,分析了IR/mmW二向色镜的基板材料和薄膜材料的选择原则,并利用一维光子晶体技术设计了中红外(3～5μm)波段的宽角高反射膜系,最后给出了实验制备工艺以及测试结果.

高精度非球面具有广泛的、潜在的应用前景,非球面加工中的表面精度测量及补偿控制是制约其加工过程的关键因素.提出了基于CCD成像技术在线动态测量非球面的表面精度,研究了在线动态测量控制的结构方案,建立了基于CCD作为测量环节的计算机控制光学表面成形系统,提出了对表面精度的加工采用宏观形貌和微观形貌分段测量与控制的方法.

本文介绍了电子内窥镜ＣＣＤ图像采集和显示系统的研究与实现，并主要论述了以现场可编程门阵列（ＦＰＧＡ）为系统控制核心的ＣＸＣＤ图像放视频显示缓存管理及窗口控制，以及基于锁相原理的系统时钟的包括同步信号发生电路和高频主时钟电路。

快速控制反射镜(FSM)是采用反射面在光源和接收器之间控制光束的一种装置.在目标探测和跟踪应用中要求迅速扫描和转动光束以保持视线(LOS)稳定,这些任务要求装置具有精密扫描和高水平干扰抑制能力.贝尔通信系统分部(BCSD)已研制,实验和交付了用于机载战术场合的无反作用快速控制反射镜,此装置在8°范围内以15Hz的三角形扫描轨迹控制、扫描和稳定两英寸光束;反射镜绝对位置为±40μrad,扫描时对90%三角波的绝对位置在34μrad之间.

液液界面现象大量存在于生物体及自然界中，界面张力的测定对于界面化学，化学舔生剂开发、三次采油等具有重要意义，本文自行研制了 用于低或超低界面张力测定装置一旋转液滴界面张力测定仪，测定了一些两相系统的界面张力，并将所测搂民文献值进行了比较，结果表明，研制的旋转液滴界面张力仪具有较好的测定精度，可用于低或超低界面张力的测定。

采用球面反射镜实现环形腔的本征模式与激光束注入模式的匹配,给出实验装置及偏振光频差测量结果,并通过非线性坐标变换消除了压电陶瓷PZT的非线性对测量结果的影响.

本文研究了三坐标测量机几何误差的快速检测方法，根据三坐标测量机空间误差与几何误差关系，提出了使用Ｒｅｎｉｓｈａｗ检查规测量几何误差的方法。该方法通过测量ＸＹ，ＹＺ，ＸＺ平面内特定圆网上各点的空间误差，可获得所有２１项几何误差。

涉及到一种基于PSD原理的高精度三维轮廓测量仪.X-Y工作台采用了宏驱动与微驱动相结合的工作方式.宏工作台采用步进电机驱动,进给精度达1微米;微工作台采用精密压电陶瓷驱动,进给精度最小可达1纳米.这样,使得X-Y测量步距达到1纳米的条件下,测量物件的尺寸范围可以扩大为20mm×20mm,不仅适合微小构件的精密测量,而且适合较大器件的精密测量,且X-Y方向的位移测量精度最小可达1纳米.Z方向位移传感器采用激光单点位置探测器PSD,Z轴方向的位移测量精度达10纳米.对微轮廓测量仪的控制系统作了程序设计,得到了较满意的效果.

本文研究了基于超声造影剂的血流运动场估计与显示技术,通过在血液中注入超声造影剂作为示踪粒子,对造影谐波图像进行时域相关处理,可得到成像部位的二维流场分布图。相对于常规Doppler方法中用Doppler回波信号的频偏计算流速值,该技术可直接从超声图像提取与夹角无关的流速矢量信息。本文通过流动模型验证该方法,浸入超声水槽中的乳胶管中流动着血液替代品,沿水流方向进行超声成像,对实验所得的造影后的B超图像以及谐波图像,用一种节省计算量的多尺度相关算法进行处理,并相互比较。结果显示,谐波图像相对B超基波图像具有更高的信杂比,从根本上解决了基波图像低信噪比对时域相关测量精度的限制,可以得到与夹角无关的二维血流场分布图,该方法是医学和有关工业领域中超声流场测量的一种有效的方法。