在A03号耐高温压力传感器结构设计上采用梁膜结合压力传递结构,使被测高温流体不能直接作用在SOI芯片固态压阻力敏感元件上,从而避免了被测流体的瞬时高温冲击(2 000℃).给出了传感器结构设计理论和设计结果及SOI芯片固态压阻力敏感元件的制作方法.对设计制作的耐高温微型压力传感器进行了高温实验.测试结果表明,这种新型结构的耐高温微型压力传感器具有较好的静态特性.

MEMS耐高温压力传感器在封装结构上采用薄膜隔离式结构,在油腔与波纹片所形成的密闭容腔里面填充高温硅油。由于传感器的工作温度达250℃,硅油、壳体基座及波纹片将会产生不同程度的热膨胀,最终将给压阻力敏芯片形成一定附加压力,严重影响传感器的精度。文中主要就硅油、壳体基座及波纹片在250℃工作时由于不同的热膨胀系数而导致的膨胀不一致情况进行ANSYS仿真分析,研究了平膜膜片及波纹状膜片情况下的硅油热膨胀问题,最后相应地得到了硅油相对于壳体和波纹片的热膨胀率,同时分析得出了合理设计波纹片结构可以有效减小硅油热膨胀时所产生的附加压力,提高传感器的工作灵敏度与稳定性。

采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片；通过动力学分析和有限元模拟，研制出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构；通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处，研制出量程为±2000g、过载能力为30倍满量程的高过载梁膜结合压阻式加速度计．加速度计具有较高的测量灵敏度和精度，满量程输出为126．97mV／2V，静态精度为0．86％FS．

针对微机电系统微执行器输出位移小,不能满足实际工作需要的问题,设计了一种微型柔性杠杆位移放大机构,并用有限元方法对放大倍数及影响因素进行了分析.该机构不含任何旋转部件,利用单晶硅微梁的弹性变形来实现微位移的放大,采用深层反应离子刻蚀技术将整个机构制作在硅隔离衬底上,并把它置于40%的HF溶液中使其成功释放.对集成加工在同一衬底上的电热微执行器进行了性能测试,测试结果表明,在没有优化的条件下,加工的两级微型杠杆机构在14 V工作电压下的放大倍数为18.9倍,输出位移达到36 μm,测试结果与仿真结果相吻合.

为了解决微致动器结构功能函数不能明确表示的可靠度分析问题，以BP神经网络、响应面法为基础，提出了求解可靠度的几何分析新方法：对神经网络响应面法加以改进并利用其拟合极限状态函数，得到显示的结构功能函数表达式；利用均值波动法对微致动器局部应力最大处进行可靠度分析，求得结构可靠度因子8为3．353。与JC法比较，方法简便可行，为结构可靠度计算问题提供了新的有效的思路和方法。

为了提高液压六自由度平台的建模精确度,改善控制效果,采用AMESim和Matlab两种软件以及PID控制技术对平台单通道系统进行了联合仿真。仿真结果表明,利用AMESim与Matlab各自优势的联合仿真技术具有良好的仿真效果,为进一步开发、研制液压六自由度运动平台打下了良好基础。

针对传统自动机维修保障模式操作繁琐、维修周期长的问题，提出了一种应用小波包能量谱信息和相关向量机（Relevance vector machine，RVM）相结合的故障诊断方法。对每一组自动机振动信号进行小波包分解，得到不同频率成分的子频带分量，计算子分量占原信号能量的百分比，实现自动机状态信息表征，最后将特征输入RVM中进行分类识别。自动机故障诊断实例表明，该方法能较理想的实现自动机故障诊断，达到较高的诊断准确率。此外，通过对比支持向量机（SVM）的诊断结果，验证了RVM可以在很大程度上提升故障诊断的稀疏性与实时性。

运枕龙门吊控制系统由行走控制系统起升、冷却及辅助控制系统两大分系统组成.该文介绍了工控机与PLC联网组成的计算机控制系统在运枕龙门吊中的应用对龙门吊控制系统的组成和上、下位机的通信做了比较详细的阐述.整个系统的通信采用主/从模式在工控机的要求下PLC进行响应工控机的监控程序采用VC++开发.

介绍了灰色系统基本的理论详细阐述了基于灰色理论的关联度分析方法在液压系统故障诊断的具体运用并利用某装备液压系统的测试数据以及模糊隶属度函数对液压系统主要部件建立了标准模式向量矩阵以及待测状态模式矩阵通过诊断运算解决了液压系统的模式识别问题给出了该装备液压系统故障诊断新的途径和方法。

根据火炮液压调平系统的工作特点对系统故障进行了分析建立了系统的故障树.同时对系统故障树进行了定性分析求出了最小割集和结构重要度.