采用“填脉冲式”相位测量方案设计的测相卡，可以测量信号在某一时刻的相位，并可以实现计数功能；对于频率不大于１０ｋＨｚ的信号，相位测量误差小于０．１°；对１ｋＨｚ的信号测量实验表明测相卡的单次测量精度为０．０４５°；文章分析了主要的误差因素，并指出了设计中的注意事项。

分析了激光衍射法测量细丝直径技术中影响精度的几个主要因素，研究了一种微弱衍射条纹的精密处理及识别技术，有效地提高了测量精度，实测结果表明，文中讨论的技术能在１０￣５０μｍ的范围内实现正负０．１μｍ的重复精度，分辨力优于０．０１μｍ。

作者分析了我互比法现行的两种数据处理方法的缺点，提出了应用最小二乘法原理推导出合理的数据处理方法。本文还首次从理论上阐明了排列互比法测量结果中出现一次谐波系统误差的原因，提出了减少和消除这一些系统误差的方法，并给实验验证。

介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密检测的方法及装置。该装置的工作怀精密测仪，它采用一稳频双纵模激光作为光源，其拍频步率在６００ＭＨｚ－１ＧＨｚ之间，拍频波长为５００－３００ｍｍ，稳定度为１×１０＾７－１０＾－８。该系统确定整数倍拍频波长节点的精度为０．０５ｍｍ，测量两节间距离的分辨为０．０００１ｍｍ。

针对液晶投影器能容易地通过图象板与微机连接，接收ＰＣ机发出的数字电信号并把接收到的信号转换成模拟的光信号投影，可以根据实际应用时控制投影光栅的周期及相移，提出了基于ＬＣＤ投影的全电子的ＰＭＰ方法。

提出一种可以测量１米以上绝对距离的光纤干涉测距系统，采用两部分干涉结构，分别对靶标进行定位及光程调谐和对距离进行测量。通过引入已精确标定的光纤进行光程倍增以扩大系统的动态范围，对系统的信号处理方法进行了初步讨论，并给出系统仿真的结果。

本文提出了一个由线阵ＣＣＤ，８０３１单片机和多面镜构成的可在３６０°内实现高精度角位移测量的系统，对其构成原理，可达精度及影响精度的因素进行了理论分析。解决了常见ＣＣＤ位移测量系统中量程和精度成反比的限制，实现了整个圆周上０．０１ｍｒａｄ的高精度测量。

报道了Φ410mm轻型熔石英反射镜的研制概况。首先分析了轻型反射镜对材料的要求,选择了熔石英作主反射镜材料。比较了熔石英反射镜轻量化技术途径的优缺点,选择了高温熔合物封接的技术方案,研究了封接材料和高温熔合物封接技术。开展了有限元结构分析,分析了支撑方式和若干参数对反射镜面形的影响,确定了合理的构参数。应用上述研究结果研制出Φ410mm轻型球面熔石英反射镜和350×248mm异型轻型平面熔石英反射镜。研究了高温150℃,低温-35℃对Φ410mm轻型熔石英反射镜面形稳定性的影响,研究结果实际表明实验前后面形均方根变化ΔRMS<0.01λ(λ=632.8nm),说明面形和结构十分稳定。

针对干涉仪高精度检测的需求,本文提出了旋转法标定干涉仪系统误差,实现绝对检测,从而提高检测精度。该方法根据Zernike多项式的性质,可以通过N次平分旋转和一次旋转法两种方法实现。本文对这两种方法分别做了详细的理论推导,并且给出具体实验结果与误差分析。实验结果表明,两种方法的测量结果基本一致,差值的PV值为0.006λ,RMS值为0.001λ。误差分析结果表明,一次旋转法的旋转误差小于N次平分法,因此一次旋转法是一种精度更高的方法。

提出了一种基于亚波长金属光学谐振腔的纳米聚焦器件。通过利用亚波长金属结构激发表面等离子体波在谐振腔中发生干涉,形成驻波条纹,并被耦合进相邻的锥形微尖结构中,从而在锥形尖端进行聚焦,焦斑的尺寸达100nm。研究表明：通过改变亚波长光学谐振腔的长度,可以对聚焦能量进行连续调制。利用电磁仿真软件FDTD进行了针对性仿真,描绘出该器件的强度分布图,揭示出其内在工作机理,并总结出能量聚焦的规律。