为了实现悬臂方形薄板的共振模态分析，本文基于AF-ESPI测量原理和瑞利利兹法对悬臂方形薄板共振模态的理论进行了完整分析，给出前8阶的共振频率和相对应悬臂方薄板的电子散斑共振条纹分布情况。为了验证理论计算的精确性，搭建了振幅波动电子散斑干涉测量系统，并利用该系统对悬臂方形薄板进行模态分析，测量该板的共振频率和振动模态。理论计算的结果和实验测量值对比发现，振动的条纹和理论计算的结果一致，共振频率的测量值和理论计算值之间的相对差值在0．1％～9．1％之间。

主镜面型精度是地基大口径望远镜最关键的技术指标之一。为了研究主镜室以及主镜底支撑和侧支撑系统的重力变形造成的主镜面型误差,介绍了一地基光电望远镜的主镜室及详细的主镜支撑结构,借助于有限元法,建立了主镜,主镜室和支撑结构的详细有限元模型,分析计算了主镜在支撑状态下的镜面变形情况,并通过ZYGO干涉仪进行了面型检测。计算结果和实测结果对比,说明了主镜室及其支撑结构引入的主镜面型误差大小,同时也验证了有限元模型的正确性。

室内空间测量定位系统（wMPS）是一种基于多向定位原理的新型网络式测量系统,为分析系统单站的测角不确定度,建立了角度测量模型,分析了影响系统测角精度的误差源并给出误差的评估方法,利用蒙特卡罗统计法进行了仿真,获得了测角误差的分布。提出一种以多面棱体和平行光管作为调整手段,多齿分度台为角度参考基准的发射站水平角不确定度分析平台,实验结果表明该平台的有效性并获取测量空间内发射站的水平角不确定度为2.2″。

针对标准单晶硅球直径精密测量的需要，本文在介绍标准硅球直径测量系统原理并分析其光路特点的基础上，根据建立的数学模型，对激光束斜入射标准板时产生的椭圆千涉图像进行了分析，并对不同入射角度时干涉环中心点带来的直径测量误差进行了研究。分析结果显示，在给定的实验条件下，当入射角为10^-3rad时，误差已达6．6nm。提出了一种精确调整光束垂直入射平板的方法，实验结果表明，此方法能够使光束入射角的调整优于10^-5tad，满足系统测量的要求。

介绍了利用平面镜多次反射系统实现二维高精度小角度偏转测量的光学测量方法,构建了实验系统,针对系统的测量精度和测量范围与激光束在平面镜系统中反射次数的关系进行了研究,最后根据应用实例给出了具体的计算分析,研究结果表明,该方法具有结构简单、测量精度高的特点,当反射次数达到10次以上时,系统的测量精度将达到0.01″,为亚角秒级高精度动态测量提供了一种新的研究方法。

基于数字相位载波调制（DPGC）原理，建立了激光干涉振动测量系统及其信号解调的软硬件处理平台，以24位数字信号采集卡配合64位PC处理器作为硬件电路的核心，实现了参考波形的发生与待测信号的实时采集，利用LabVIEW软件平台构建了DPGC算法，实现了振动信号的实时解调。实验结果表明，基于PC平台的DPGC信号解调方法，降低了传统的模拟PGC技术中模拟乘法器和微分器等硬件电路的漂移和噪声，提高了信号解调精度，改善了系统信噪比，实现了对频率范围10～200Hz低频振动信号的高精度测量，其分辨力达到0．14胁，动态范围达到120dB。

提出了非球面人工晶体的设计思路及方法，即根据个体人眼的角膜地形图，将其转换为波前图，获得Zemike系数Z4^0（球差）项，在该球差值基础上设计并得到非球面人工晶体结构参数。对植入9．5D和20．5D人工晶体的两实际患眼成像质量的模拟分析表明：以本文方法设计的非球面人工晶体在对人眼系统的MTF，对比敏感度及离焦MTF的改善上都明显优于传统的球面人工晶体，光学性能良好。本文为非球面人工晶体的设计提供了切实可行的方法，并为其在临床上应用提供了一定的理论基础。

为了提高移相点衍射干涉仪对193nm投影光刻系统的检测精度，本文对其主要测量误差进行了探讨。在简要介绍了193nm移相点衍射干涉仪的基本结构和测量原理之后，总结了可能对测量结果产生影响的各种误差及其产生的原因。通过理论分析和数值模拟的方法分别对参考波前误差、相移误差、探测器非线性误差以及光源波动、环境变化引起的随机误差等进行了具体分析，从而得到各种测量误差的大小、存在形式以及与干涉仪结构参数的依赖关系，并提出了相应的避免或减小误差的方法。

车载平台变形是影响光电经纬仪跟踪精度的关键因素，提出了利用CCD激光自准直测量系统来测量车载平台变形的新方法。用CCD系统采集车载平台的变形视频信号，计算机对视频信号进行处理得到脱靶量数据，由此即可算出车载平台变形量。实验数据分析结果表明，车载平台雯形量随着速度和加速度呈周期性变化，变形曲线的趋势与加速度曲线的趋势相同。当经纬仪以60°／s速度引导工作时，方位最大变形为12．57”，高低最大变形为5．98”。这种方法为进一步研究反馈补偿以提高经纬仪的跟踪精度提供了理论依据。

介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨力激光轮廓仪。此仪器具有很 高的共模 抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于0.2nm（Ra）。可以摆放在金刚 石车床的刀架上测量超精密加工表面微观形貌。