柔性压力传感器的研制

简介

为了提高柔性压力传感器的灵敏度和稳定性,对压力传感器结构设计、结构参数及制作工艺进行了研究,并制作了两种传感器样片。测量结果表明,在压电材料相同的情况下,不同的结构、尺寸参数及制作流程对柔性压力传感器的灵敏度、响应时间和循环工作稳定性都有一定的影响。