一种表面轮廓测量仪X轴驱动系统的设计分析
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简介
表面轮廓测量仪是用触针扫描法测量工件表面二维形状的距离、角度、圆弧半径等参数的仪器,X轴驱动系统是表面轮廓测量仪的一个重要部件,用以提供传感器的驱动与位置反馈信号.相关论文
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