一种棱边共面度气动测量系统的设计

简介

提出了一种基于差压式气动测量原理的滑阀节流棱边共面度误差的非接触式测量方法建立了基于该方法的自动测量系统并进行了实验研究。实验结果表明滑阀节流棱边共面度气动测量系统的测量误差不超过0.5μm差压式气动测量方法完全能够满足滑阀节流棱边共面度误差实际测量的精度要求。