为了实现微液滴大小的检测，设计了一种基于声表面波技术的液相传感检测系统，并对5～10μL的微水滴大小进行了检测．实验结果表明：声表面波的幅度衰减与微液滴的大小之间存在相关性，相关系数在0．9以上，证明了声表面波技术用于微液滴大小检测的可行性．同时还发现，在相同的条件下，对大小相同而黏性不同的微水滴和微油滴进行检测，声表面波的变化趋势和衰减程度不同，说明液相的黏性会在一定程度上影响声表面波的传输．

分析了智能型纳米级抛光机运动的设计原理,使工件加工表面各点相对于抛光盘的抛光线速度相等,且工件表面各点运动轨迹不重复;提出了'低速起动-无级提速-恒速加工-低速修整-低速停止'的加工运动模式,采用光栅测量和微机控制技术,将抛光盘总转数的精度控制在±0.5°以内,保证加工余量去除误差在1 nm以内,结合合理的加工工艺,获得晶片极高的平面度和无损伤超平滑表面.