针对大尺寸平面直线度测量的问题,提出了基于三点法的直线度测量方法,并在此基础上确定了测具的结构、参数和位移传感器的型号,选用MSP430F149型单片机来捕捉脉冲信号,并完成了测量仪器的设计。对采集的数据采用了最小二乘法原则来评定直线度。研究结果表明,该测量仪器能够满足自动加工中对直线度测量精度的要求,为大尺寸平面直线度测量技术提供了一种可以选用的测量仪器。

分析了智能型纳米级抛光机运动的设计原理,使工件加工表面各点相对于抛光盘的抛光线速度相等,且工件表面各点运动轨迹不重复;提出了'低速起动-无级提速-恒速加工-低速修整-低速停止'的加工运动模式,采用光栅测量和微机控制技术,将抛光盘总转数的精度控制在±0.5°以内,保证加工余量去除误差在1 nm以内,结合合理的加工工艺,获得晶片极高的平面度和无损伤超平滑表面.

文章主要介绍了油气润滑的工作原理及其优点，通过计算分析了在高线风冷线上的应用效益。