三坐标测量机在高速测量时，由于附加惯性力的影响，引起机体变形，从而导致动态误差。对三坐标测量机动态误差进行了理论分析，在加速、匀速、减速三种状态下，利用有限元方法对横梁沿Z方向进行了受力变形分析，推导出此三种载荷下动态误差补偿模型，并由此得出了任意载荷作用下的误差补偿模型，提高了三坐标测量机的测量精度。