为了优化中小型圆形反射镜在加工、镀膜、装调等阶段的检测中所需的支撑结构，以v型块支撑工作原理设计了支撑位置及支撑点夹角均可调整的分体式支撑。利用有限元方法得到TMA系统中φ136mm非球面次镜面形随支撑点夹角的变化趋势，并根据趋势曲线，确定支撑点夹角为100。状态下，分体式支撑结构引起的镜面面形变化最小（RMS=0．57nm）。利用干涉仪结合补偿器的检测方式，对分体式支撑在不同的支撑点夹角下的镜面面形进行检测。所得结果与有限元方法得到的镜面面形随支撑点夹角变化趋势与试验结果相符，且在100。时分体式支撑引起的镜面面形变化（RMS=0．015wave）明显优于其他角度。再以不同的镜坯材料及反射镜直径尺寸进行仿真对比，结果表明：镜面面形随支撑点夹角的变化趋势与反射镜材料和尺寸无关，趋势曲线幅值随材料弹性模量和...

根据负压吸附导轨的工作原理,利用流体力学的性质,系统地建立了导轨的承载能力和气膜厚度的数学模型,得出4个结构参数、气源气压与承载能力和气膜厚度的关系.最后通过实验证明了该导轨气膜厚度在1～3 μm时,刚度稳定,最大变化量约为10%,且计算刚度与试验刚度的误差小于12%,能够适用于高精密器械的移动元件或承载元件.

根据反射镜拼接型CCD相机拍摄影像时发生渐晕的灰度分布特点,提出了一种基于最速下降法的曲面拟合方法,以消除渐晕现象。对反射镜渐晕的物理模型进行分析,通过仿真提出了一种二维曲面模型来拟合图像灰度补偿算法,推导Hesse矩阵的相关系数,通过Hesse矩阵逐次迭代收敛,最终获得二维曲面的相关参数值。仿真结果表明,上述方法能够有效估计出不规则二维曲面的相关参数。通过对实际影像的处理结果表明,本文方法能够有效去除影像的渐晕现象,改善图像质量,在测试平台上对有效像素为782×582的单面阵CCD实验影片进行处理,程序运行时间为24ms,可见,本文算法完全满足实际工程需要。由于该方法不需要相关的光学和几何参数,因此具有广泛的适用性。