以刚性虎克铰链结构形式为基础,结合蝶型柔性机构,设计了一种大变形柔性虎克铰链,并对新铰链进行了仿真分析和测试试验。通过仿真分析可知,在铰链的转动过程中最大轴漂为11.1μm,且铰链在非转动自由度上具有较大刚度;通过测试试验可得,该铰链绕X轴和绕Y轴的转动角度均能达到±9°。结果表明,该柔性虎克铰链转角大、刚度好、精度高且运动稳定。

介绍了一种干涉波面的Zernike多项式拟合方法，该方法从构造的正规方程入手并对其进行逐步回归分析，从众多的Zernike多项式模式中选取影响显著的模式。采用仿真波前对本文提出的波面拟合方法进行了验证，结果表明该方法可以得到干涉波面的最优模式组合，有效提高波面拟合的精度，拟合的PV和RMS相对误差仅为1．11％和0．07％。