文中介绍了圆形工作台平面度测量方法,分析了各种方法之间的区别,给出了用中心法测量圆形工作台平面度的方法。

常见的凸轮结构变焦距镜头有两大类滑动摩擦结构和滚动摩擦结构。首先将从两种结构的比较入手,根据滑动摩擦结构误差产生的不同种情况,给予理论分析,从而为滑动摩擦结构提高成像精度提供理论依据。

提出了一种适用于非球曲面光学零件数控加工的“步长伸缩双圆弧插补”的插补算法,采用转角平分法在非圆曲线两相邻节点之间构造两相切圆弧进行拟合。该算法可根据加工精度要求自动调节插补步长,能在满足加工精度的要求下获得最少的拟合圆弧段,从而提高了加工效率,且计算相对简单。

针对非球面零件光学级检测技术进行广泛探讨,并针对课题研究中一抛物面镜实例,设计出实用型Dall补偿器,经优化后,保证检测面形精度达到0.004λλ=632.8nm。

采用光栅谐振子为敏感元件,其输出信号以脉冲数形式输出。文中重点介绍了该传感器的工作原理和结构设计,讨论了光栅的探头形式、光栅间隙、条纹宽度和光电元件宽度的关系。

阐述了利用压电式加速度计、电荷放大器、动态信号分析仪进行振动测量的原理及应用。

针对微机电系统(MEMS)中微小器件的表面刻蚀沟槽及台阶的测量,研制采用步进电机运动平台和微力电感测头,用变截面片簧作回转运动的测头支撑机构,对运动平台存在的偏心作用力和振动噪声问题做了分析和研究,提出了有效的解决方案。

提出了一种新型可以测量孔和轴直径的超精密测量仪，该超精密测径仪主要由炫耀光栅和气浮导轨及红宝石探头组成，采用接触式绝对测量方法。介绍了环境温度的控制和减小环境振动的手段，以保证测量的精度和重复性。这种新型测径系统分辨率可以达到1nm,量程范围可达 0～100mm。

介绍一种后置节流孔压力式气动测量原理用于伺服阀叠合量的气动测量研制了一台伺服阀阀口加工质量测量仪并实现了微机自动控制。

介绍了多缸同步液压伺服控制系统在线圈压床中的组成、控制原理,及在线圈压床中的实际应用效果。