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> 绝对距离干涉术
一种新型多波长绝对距离干涉测量系统的研究
作者:
梁晶
龙兴武
张斌
来源:
光学技术
日期: 2024-01-17
人气:16
介绍了一种新型多波长绝对距离干涉测量系统。系统采用633nm的双纵模He-Ne激光器和629nm的He-Ne激光器,组成三级合成波长链对较大距离进行精密测量,并作了误差分析。系统采用高稳定度的声光晶体对各波长分别进行偏频,再用外差探测法测量出光束通过参考光路和测量光路后的位相差。简要介绍了629nm的He-Ne激光器的设计方案。
关键词:
激光干涉仪
绝对距离干涉术
多波长
相位测量
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