本文研究菲涅耳谐衍射透镜的特性和工作条件，分析二元谐衍射透镜的衍射效率及制作要求，设计并研制了用于萨克－哈特曼波前传感器的双波长共焦谐衍射微透镜列阵，得到了良好的应用效果。