非接触表面形状测量的新方法
在当今产品不断迫求小型高精度化的产业界,制造精度管理,产品质量管理也要求提高。表面形状的测量方式从以往的干涉式、三角测量式、动态焦点式以及被采用的动态范围大的对物体进行观察立体显微方式。市场迫切要求能替代这些方式的高精度高可靠性且廉价的测量方式,并且也要求能适应生产线上的测量速度。本文介绍以色列OPTI-MET公司生产的Consocopic Holography测量仪。该仪器可对 0. 04 um~几米的范围进行高精度动态测量。采用两次折射光学晶体和山散射偏振引起的光学干涉技术。其特点在于这种方式即使不用相干光也可引起干涉象,因此,与激光干涉仪相比,可以实现稳定、灵敏、廉价。另外,光学系统为同轴方式,可以安装在与测定表面方向垂直的位置上,不产生阴影,在光学噪声、温度方面也具有优点。
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