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微全分析系统中的MEMS技术

作者: 崔大付 来源:现代科学仪器 日期: 2024-09-04 人气:18
微全分析系统中的MEMS技术
微全分析系统(μTAS)的研究和应用,近年来有了巨大发展.本文将着重叙述基于MEMS技术的μTAS的研究和发展,扼要介绍设计、制造μTAS的一些新技术、新材料和新方法,以及我们在研制μTAS方面的一些进展.
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