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> 生物芯片
微全分析系统中的MEMS技术
作者:
崔大付
来源:
现代科学仪器
日期: 2024-09-04
人气:18
微全分析系统(μTAS)的研究和应用,近年来有了巨大发展.本文将着重叙述基于MEMS技术的μTAS的研究和发展,扼要介绍设计、制造μTAS的一些新技术、新材料和新方法,以及我们在研制μTAS方面的一些进展.
关键词:
微全分析系统
微电子机械系统
生物芯片
MEMS
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