为了满足光学及精密机械领域精密测量的要求，提高微位移器位移量的测量精度，在对传统的接触式干涉仪改造的基础上，采用空间频域算法计算出了白光干涉图零级条纹的中心位置，并根据零级条纹中心的移动量得到待测的微位移量。该方法能够测量连续和阶跃变化的位移量。实验以压电陶瓷微位移装置（PZT）为例，测试了其电压-位移曲线，测量重复性达到1nm。结果表明，该方案稳定有效，不易受噪声和色散的影响，测量重复性好。

本文提出了具有高分辨率的微位移测量方法，该方法采用频谱分析技术对于干涉条纹进行快速傅里叶变换（ＦＦＴ）和滤波处理，消除了噪声和干扰，获得了清晰的干涉条件，检测处理后的干涉条纹的移动就能准确地测量出位移。采用ＣＣＤ摄像机、图像卡和计算机，结合本文设计的麦克尔逊干涉仪对压电晶体（ＰＺＴ）的位移曲线进行了测量。结果表明，该方法能达到极高的分辨率，在总采样点为５１２，连续测量时，最小分辨率达到１．３ｎｍ。

本文主要介绍一种微机械测量子系统,它与控制、测试和带有闭合数字控制回路结构的测量仪器相关.它尤其适用于光滑位移量的测量.例如象由压力和温度引起的物体变形量,或者在监测物体气密性时,探测由物体的几何尺寸变化引起的电荷量.它也可用来监测集成模块的防水性.如果再给子系统补充一些额外的触觉传感设备,它就可应用于机器人系统中.