美国波士顿大学的Jan Smith博士着手有关微泵和谐振式硅结构的研究。此后，与微机械有关的结构和器件的研究正在迅速增加。目前，在MESA研究所中，大约有25人从事有关微机械的研究。正在研究中的器件有流体控制器、流量传感器、液体混合器、谐振式加速度或压力传感器，微型机器人用的活动关节、微定位器、小型扩音器、眼压计以及扫描探测显傲镜等。

介绍一种能直接以数字显示压力的检测仪。它以谐振弦型液压压力盒为传感器 ,以单片机为核心构成 ,具有检测速度快、精度高、稳定可靠等特点 ,可用于比较恶劣的环境中。

介绍一种能直接以数字显示压力的检测仪.它以谐振弦型液压压力盒为传感器,以单片机为核心构成,具有检测速度快、精度高、稳定可靠等特点,可用于比较恶劣的环境中.