相移误差是影响干涉显微镜测量表面形貌精度的主要因素之一，介绍了四帧算法，五帧算法，四帧免疫算法，五帧免疫算法的原理和计算公式，并对其特点进行了分析比较，利用自行研制的带旋转检偏器的干涉显微测量系统，分别用四种算法对Ra=0.35μm和Ra=0.09μm粗糙度样块进行了实测，结果表明，五帧算法的重复测量精度优于0.5nm，五帧免疫算法的重复测量精度优于0.3nm，同时对在普通干涉显微镜上进一步提高其测量精度做了初步探讨。