1引言 21世纪的通信技术将向宽带方向发展,为此有关专家提出了将光纤连接到户(FTTH)的构想,并充分利用波分复用(WDM)方式对大容量传输用的光网络进行积极的研究.然而要实现FTTH或WDM系统,既需要提高光纤、激光二极管、光放大器和连接器等光学器件的性能并降低成本,又需要以物理的方式转换开关或波长可调滤波器等高功能的光学器件.

介绍了微机械技术的含义、特点和基本特征.阐述了微机械技术在生物医学、航空航天及微型机器人等方面的进一步应用情况.