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> 激光镜
激光镜镜面粗糙度的干涉测量
作者:
张耀宁
程祖海
来源:
中国激光
日期: 2024-05-13
人气:17
开发了一种激光镜镜面粗糙度的全场,非接触干涉测量方法。测量了两面不同粗糙度的铜镜,测出的数据和用6JA型显微干涉轮廓仪测量的结果相吻合。测量的范围为0.01-0.12μm,理论上测量的精度可达0.002μm。它对镜面抛光过程的控制有实际意义。
关键词:
干涉测量
粗糙度
激光镜
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