碧波液压网 欢迎你,游客。 登录 注册

激光镜镜面粗糙度的干涉测量

作者: 张耀宁 程祖海 来源:中国激光 日期: 2024-05-13 人气:17
激光镜镜面粗糙度的干涉测量
开发了一种激光镜镜面粗糙度的全场,非接触干涉测量方法。测量了两面不同粗糙度的铜镜,测出的数据和用6JA型显微干涉轮廓仪测量的结果相吻合。测量的范围为0.01-0.12μm,理论上测量的精度可达0.002μm。它对镜面抛光过程的控制有实际意义。
    共1页/1条