应用多模干涉器件的白光干涉仪研究
基于因光纤通信发展而研制的多模干涉器件的原理和特点 ,提出一种结合多模干涉器件的白光干涉仪 ,并讨论了其典型应用。与微机械技术相结合 ,可成为小型化干涉仪
数字化白光扫描干涉仪的研究
研究并设计实现了微形貌测量白光扫描干涉仪系统和光纤偏振耦合点监测白光扫描干涉仪系统.前者采用Mirau相移干涉形式,用压电陶瓷传感器PZT作移项器,主要用于微形貌测量,精度可达nm量级.后者采用光路补偿白光Michelson干涉形式,用格兰棱镜对偏振态进行调整控制,用移动参考臂来补偿由于耦合点所造成的光程差,光纤寄生偏振耦合测试仪的空间分辨率达到50 mm,测量范围达到1 km,探测灵敏度不小于-80 dB(耦合模式与主模式的功率比).
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