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LAMOST子镜真空镀铝系统中的多点蒸发源建模分析

作者: 吕立冬 李新南 来源:真空 日期: 2024-06-03 人气:11
LAMOST子镜真空镀铝系统中的多点蒸发源建模分析
选取多个钨丝均匀的分布在一个圆周上,形成一个环状蒸发源。把每个钨丝看成一个标准的点蒸发源,与LAMOST子镜建立模型形成一个蒸发沉积系统。把镜面离散成一个致密的具有特定坐标点的阵列,把每个点蒸发源对镜面上特定点的膜层厚度的贡献相加,从而得出膜层厚度的采样值。文章分析了点源的个数、圆环的半径、源基距、以及蒸发源的发射特性对膜层均匀性的影响,最终确定选取了12个钨丝,把源基距定为0.8m,把圆环半径定为0.55m。设计了相应的挡板实现了膜层不均匀性低于5%的要求。
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