采用有限元软件ABAQUS6.14对压电多层膜悬臂梁进行了仿真模拟,在自由端受集中载荷下,预测薄膜结构对悬臂梁曲率半径和自由端及中心固定端等效应力的影响。结果表明自由端受到的载荷越大,则各层所对应的自由端和中心固定端的等效应力越大,而中性层曲率半径则越小。薄膜厚度越厚,自由端和固定端各层的等效应力越小,而各层的中性层曲率半径越大。同时将数值解与解析解进行比较,以验证有限元模型的正确性。仿真结果与解析解吻合良好,为后续MEMS微悬臂梁器件的结构优化和加工工艺提供可靠依据。

设计水平和垂直方向两种驱动形式MEMS（micro-electro-mechanical system）惯性开关，应用ANSYSIO．0有限元软件对其中的镍质微弹簧结构进行实体建模和动力学模拟分析，得到其在动载荷下的应力分布情况和端部位移响应曲线，并比较静动载荷下结构参数对微弹簧水平和垂直方向上弹性常数（klevel和kvertic）的影响规律。文中的有限元动力学分析方法为较准确地评定类似MEMS微弹簧弹性常数提供一条有效途径，具有工程实际应用价值，特别是为动载荷下工作的惯性类微器件中弹簧的进一步优化与加工提供重要依据。