分析了时滞现象在以绝对变量反馈和相对变量反馈条件下，对超精密机床 振动主动控 制的影响。在相对变量反馈条件下，通过合适的增益选择，即可保证系统的稳定性，又能大 大降低振动传递率。因而，超精密机床的加工精度得到有效的改善。